影响三氯化铁蚀刻速度的因素
影响蚀刻速率因素
蚀刻液中的三价铁的浓度和蚀刻液的温度有很大的关联。
蚀刻液温度越高,蚀刻速度也就越快,温度的选择应以不损坏抗蚀层为原则。
三氯化铁里面的三价铁的浓度对蚀刻数率有很大的影响,蚀刻液中的三价铁浓度逐渐增加,对铜的蚀刻速率相应加快,当所含三价铁超过其一浓度时,由于溶液粘度增加,蚀刻速率反有所降低。
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