随着电子技术的发展，越来越需要许多几何形状复杂、精密度要求高而机械加工难以实现的超薄形工件。而照相腐蚀（或称金属蚀刻）方法却易达到部件平整、无毛刺、图形复杂的要求，且加工周期短、成本低。它的化学原理是利用三氯化铁水溶液作为腐蚀剂与金属反应：

 2FeCl3＋ F e＝ 2FeCl2

 2FeCl3＋ C u＝ CuCl2＋ 2FeCl2

   在氯离子和氧化剂共存的条件下就可以发生金属腐蚀。 FeCl3作为一种较强的氧化剂，其腐蚀作用取决于 Fe3+＋Fe → Fe2+反应的氧化还原电位（ 0.77V ），加之溶液中含有大量的氯离子，且 PH 值低、酸性强，所以对金属有强烈的腐蚀倾向。 由腐蚀反映原理可知，三氯化铁随着反应进行，

 Fe3+离子浓度越来越低，而 Fe2+离子浓度越来越高。

   一般经验数据表明：在 三氯化铁溶液中的 Fe2+离子浓度超过一定量时，腐蚀剂对金属腐蚀速度就显著下降，腐蚀质量变差， 此时就需要更新。若经常更换腐蚀溶液，一则对环境产生污染，二则造成浪费，提高产品成本，如果能把 Fe2+氧化再生就可能解决这些问题。